00:01예 이어서 함재현 양의 계면활성제에 대한 얘기 해 볼게요
00:06계면활성제는 수업시간에 어떻게 보면 설펙턴트라는 개념으로 직접 얘기했던 것 중에 하나죠
00:14이것에 대한 응용에 대해서는 조금 더 이제 우리가 생각했던 것보다 조금 더 나가는 얘기긴 한데
00:21그래도 앞서 얘기했던 것들에 비해서 아마 조금 더 친밀한 그런 내용들로 보게 될 겁니다
00:32포토리지스트 자체는 우리가 다룬 적은 없어요 하지만 거기에도 어떻게 적용되는지 좀 알 것 같은데요
00:39여기 보시면 원래 이제 포토리소그래피가 원칙적으로 더 맞는 말인 것 같고 포토리지스트 pr 원래 리지스트라는 거에 뜻이 뭡니까
00:50뭔가에 대한 저항인 거잖아요 그러니까 그 빛에 대한 저항 이라는 느낌으로 받았을 때는 빛이 들어왔을 때
00:59걔가 아무것도 안 해야 사실 또는 뭐 그런 거라 해야 되지 않겠습니까 빛이 지나가지 못하게 하는 뭐 이런 거니까
01:08그러면 빛을 걔가 받아서 어떻게 했다는 얘기인데 그러면 빛에 대한 저항이었으니까 빛을 받아서 어떻게 됐을 것인가
01:17그래서 이제 여기 보면 기본적으로 뭐 어떻게 뭐가 있고 그 다음에 이제 포토리지스트를 위해 깔고
01:26그 다음에 이제 빛을 주면 빛이 된 영역과 빛을 받지 않은 영역 이런 것들이 있을 텐데 빛이 받은 영역에서
01:35이제 굳어지고 나머지 영역은 처음에 그냥 고분자 형태로 그냥 그대로 있거나 또는 빛을 받은 부분이 딱딱해지고 나머지 영역들이 그대로 다
01:48있어서
01:48사라진다거나 그렇게 되면 이제 뭐 다음과 같은 패턴이 이제 만들어지겠죠 요게 이제 어떻게 보면 약간
01:56네거티브에 대한 대표적인 일 텐데요 어 우리가 원하는 부분에 빛이 들어갔고 그 다음에 이제 포토리지스트를 한 다음에
02:09씻어내면 걔네들이 다 이렇게 씻겨 나갔잖아요 이게 이제 요게 네거티브입니다 그래서 여기 나와 있는 거죠
02:16네거티브는 빛을 받은 부분이 어 빛을 받은 부분이 남는데요 죄송합니다 거꾸로 얘기했네요 제가 빛을 받은 부분이 제거되면
02:25파지티브 이게 파지티브에 해당하는 거네요 그죠 그 다음에 이제 pr에 대한 것들이 쭉 있구요
02:32그 다음에 접촉하고 뭐 이런 얘기들이 쭉 있습니다 파지티브인지 네거티브인지는 나중에 이런 일을 하실 때 직접 좀 더 다시 보면
02:41돼요 뭐 제가 이게 파지티브냐 뭐 둘 중에 하나 찍는 이런 문제 안내는 거 다 아시잖아요 그죠
02:46그리고 자체가 중요한 건 아니고 오히려 저는 이런 부분이나 표면 장력 이거는 우리가 여러 번 얘기했던 것들이니까 이게 이제 사실
02:55얼마나 중요한지 여기 뒤에 나오잖아요
02:58이거 보세요 이게 패턴을 반도체 에서는 패턴 이라든지 뭐 이런 것들이 굉장히 중요하니까 패턴 했는데 지금 메뉴스커스가 이렇게 지금 모색한
03:08현상 때문에 이렇게 다 붙어있으면
03:09얘네들이 다 끌려가고 그리고 이게 뭐 제대로 씻겨 나가지 않으면 우리 수업시간에 했었던 캔틸레버 빔 기억하시죠
03:19이게 운전할 때 보면 센서로 들어가 있었던 기억하세요 이렇게 생겨가지고 여기 액츄에이션 패드가 있었고 이렇게 되어 있을 때 여기 탁
03:32다음에 회로가 닿아가지고 그냥 에어백이 푹 터지잖아요 이해가 보면 보면 지금 거의 붙어져 있잖아요
03:39그러니까 습도가 있다거나 물기가 있으면 이런 것들을 여기 잡아서 이런 일들이 벌어지거든요
03:47그 다음에 씻어낼 때도 얘네들이 잘 안 씻겨 나옵니다
03:51이렇게 다 갇혀 있는데 뭐가 씻겨져 나오겠습니까
03:54그러니까 이런 린스 공정이 사실 너무나 중요한 게 되는 거예요 이 반도체 공정에서는
03:59이런 거 할 때 우리 썼던 단어 기억하시죠 에스펙트레이셔
04:03얘가 모든 이런 면들은 다 사라지고 싶어 하지만 얘를 끌고 갈 수 있는 힘이 사실 없다고 했잖아요 그런데 이렇게 나노
04:11사이즈가 되면 끌고 가죠
04:12지금 보세요 다 끌고 가잖아요 그러니까 이렇게 이제 나노 3개가 되면 우리가 생각했던 것보다 훨씬 더 많은 어떤 표면에 관계된
04:21일들이 생기니까
04:23그것들을 조절하기 위해서라도 이런 데 설펙트들이 필요하다
04:29그리고 이제 이거 다 기억하시죠 그죠 라팔라스 이퀘이션에 대한 그 포스에 대한 것들
04:36뭐 이런 것들이 좀 나노 사이즈가 되면 더더욱 중요하다
04:39그리고 계면활성제는 이런 서피스텐션을 낮춰
04:44이거는 뭐 우리가 다 이미 알고 있는 것들이잖아요
04:46그래서 낮추는데 어떻게 낮추겠는가 뭐 이런 것들에 대한 이야기들이 쭉 있고요
04:52그리고 여기 보시면 계면활성제가 또 주의점도 있대요 뭐 오히려 거품이 발생하거나
04:59그죠 펌펌 뭐 거품 발생하죠 거품 발생하면 어떻게 되겠어요 여기 여기 이런 데서
05:05이런 데서 거품이 발생하면 어떻게 되겠어요
05:07그리고 그 거품 때문에 얘가 프랙처가 일어날 수 있죠 깨질 수 있다고
05:13거품이 얼마나 처음에 클지 작을지 잘 모르겠지만
05:16그런데 여기 모이고 또 거기에 꽉 묶여 있고
05:21등등 여러 가지로 굉장히 안 좋은 일들이 생길 것이 명백합니다
05:27간단하게 봤습니다
05:29간단하게 봤습니다
댓글