- 2주 전
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학습트랜스크립트
00:00안녕하세요.
00:04첫 번째 발표로 반도체 CMP 공정에서의 슬러리 입자 안정성과 개면 에너지 제어를 녹음하도록 하겠습니다.
00:17내용은 다른 것들도 쭉 보고 있지만
00:20내용이 우리 수업시간에 배운 것들하고 매우 공통되는 것들이 있어서
00:28이런 분야에서 일을 하면 큰 도움이 될 수 있겠다 싶은 생각이 듭니다.
00:34그러니까 이런 일을 하는 부분에 있어서
00:37좀 자세한 내용들을 더해서 제가 내년부터는 수업에 직접 넣어도 될 만한 내용인 것 같아요.
00:44한번 좀 보세요.
00:47CMP 공정이 뭔지 설명하고 있습니다.
00:50케미칼의 C, 그 다음에 미케니칼 폴리싱
01:11CMP가 여기 보면 케미칼, 그 다음에 미케니칼
01:18제가 수업시간에 한 번 그런 얘기 했었어요.
01:20이게 뭔가를 깨끗하게 하는 가장 좋은 방법이 뭔가
01:23미케니칼 방법이에요. 미케니칼 방법으로 긁어내는 게 가장 좋은데
01:28근데 어떻게 긁어낼 것인가 라는 얘기를 할 때
01:33이제 살짝 케미칼까지 더해서 본딩이 잘 떨어지게 만든 다음에
01:39긁어내면 더 편할 것 아닌가 라고 해서
01:42여기서 케미칼의 도움을 받아서 미케니칼 폴리싱을 하겠다는 겁니다.
01:47대부분 사실 이거 전체를 케미칼, 미케니칼 폴리싱이라고 불리기도 하지만
01:53기본적으로는 사실 미케니칼 폴리싱이라고 불러요.
01:57그 안에 어떤 케미칼이 들어 있다고 하더라도
01:59그런 거에서 반도체 공정은 사실 3D, NAND, HBM 이런 것들
02:05HBM 사실 요즘 많이 나오잖아요.
02:08그거는 엔지니어, 전기나 이런 거 하시는 분들이
02:11전기, 전자 이런 거 하시는 분들이 하고
02:14반도체 하시는 분들이 하고
02:16적어도 이런 거를 깨끗하게 하는 것들도
02:18사실 너무 중요해서 제가 수업시간에 한번 얘기했어요.
02:21이게 이거를 씻는 물을 만들어 달라
02:26이것도 엄청난 요구사항이었거든요.
02:29한때 뭐 한 2년 전인가 3년 전인가
02:31일본하고 우리 관계가 엄청 안 좋아져가지고
02:34일본이 이런 반도체에 사용되는 물이랑
02:36뭐 그 다음에 그런 그레이드의 불산 이런 거
02:40하나도 우리한테 수출 안 하겠다고 해서
02:42난리가 난 적이 있었잖아요.
02:45그러면서 뭐 다행히 우리는 수자원 공사가 이런 부분들을 대부분 해결한 걸로 알고 있어요.
02:51그래서 굉장히 좋은 물들을 공급하고 있고
02:54또 이제 그러면서 우리나라 위상이 굉장히 올라가 가지고
02:58이제 반도체에 대한 타국 의존도도 뚝뚝 떨어지고 있어서
03:01우리가 굉장히 더 잘해 나가는 어떤 그런 상황이 됐는데
03:07그러니까 반도체를 만드는 것 자체는
03:10뭐 네덜란드 기계도 들어오고
03:12뭐 이런 저런 기계가 많이 들어오고
03:14또 기본적인 클리닝은 또 뭐 네덜란드 무슨 기계가
03:18그 회사가 굉장히 중요하잖아요.
03:19그죠?
03:20그런 것도 앞으로 계속 이제 뭐 우리나라 부품으로 대체해 나가야 되겠지만
03:26뭐 그런 과정에서 클리닝 이게 정말 생명인 거예요.
03:30그러니까 아무리 자기네들이 디자인을 잘하고 어쩌고 해도
03:34처음엔 웨이퍼 자체가 너무 엉망인 상태로 시작하면
03:39아무것도 안 나오고 또 수율도 뚝뚝 떨어지는 거죠.
03:42그런 의미에서 이제 이런 얘기들을 하는 건데
03:48계속 이렇게 지우면서 가야 되겠네요.
03:50그 다음에 이제 CMP 작동 원리는 뭐 좀 전에 얘기한 것처럼
03:55깎아내리기 쉽도록 표면을 좀 부드럽게
03:57그러니까 뭐 약간 애천트를 여기다 집어넣을 것 같지는 않지만
04:02뭐 H202 라거나 뭐 이런 애들도 좀 들어갈 수도 있겠고
04:07사실 어떤 화학적인 것들을 집어넣는지는 잘 몰라요.
04:13모르지만 뭐 암모늄 플로라이드 같은 경우는 사실
04:17HF 이런 거에 비해서는 훨씬 그 위험도가 적거든요.
04:20암모늄 플로라이드 자체가 약간 고체로 나와 있고
04:24HF는 기체잖아요. 기체가 슉 날라가는 거랑
04:27암모늄 플로라이드는 거기서 이제 HF가 조금씩 조금씩
04:31나오는 대로 날아가는 거니까
04:33그 농도나 이런 면에서 확연히 다릅니다.
04:36그래서 이제 단차 제거하는 방법에서도 보면
04:39소재가 뭐 이제 실리콘이 처음에 막 이렇게 울퉁불퉁 했겠죠.
04:42근데 그런 부분을 여기 이제 눌러서 깎아내고
04:46평탄화 작업이 될 때까지 계속 되는 건데
04:50이런 공정에서 어떤 것들이 이제 필요한가
04:56이제 뭐 디펙트 제어가 핵심이
05:01다 너무 뻔한 일이 아니겠습니까
05:03뭐 디펙트 하나만 있어도 막 수율이 감소로 연결되고
05:07그 다음에 나노미터 수준이고
05:10그러니까 여러분들이 나중에 뭐 셈이랑 템 이미지 이런 거 보면 아시겠지만
05:15굉장히 이게 나노미터 수준으로 가면
05:20우리가 생각한 거 이상의 어떤 정밀함 이런 것들이 필요로 하게 됩니다.
05:26그래서 이제 이런 입자 안정성이 중요한 이유는 입자가 응집되면
05:31애그리게이션 일어났죠. 그렇죠.
05:33그래서 우리가 애그리게이션 때문에 나노미터 입자를 만들어도 자기네들이 셀프 어셈블리도 이루어지고
05:40막 별의별 일이 다 있다고 얘기를 했었잖아요.
05:42그런 것 때문에 불균일 뭐 거칠게 증가하고
05:47불균일 하면 결국 앞에서 했던 얘기 똑같은 얘기가 계속 되네요.
05:51그리고 나서 이제 이런 것들을 방지해야 되잖아요.
05:55방지하려면 여기 보면 pH라든지 디스포스턴트
05:59디스포스턴트라는 말 자체가 뭔가를 분산시키는 것들이니까
06:02분산시키는 애들이 들어가면 좋겠죠.
06:05그 다음에 아이오닉 스트렝스 컨트롤
06:07요거는 약간 정기화학적인 얘기인데요.
06:09설펙턴 또 애드티브 요거에 대한 상세 내용들이 뒤에 잘 정리해 두셨더라구요.
06:14근데 이제 제가 일일이 얘기를 하기 시작하면
06:17여러분들에게 이제 이게 어떤 뭐 시험에 어떤 강도가 높아지니까
06:23슬쩍슬쩍 얘기하고 넘어가면
06:26pH는 사실 좀 명백한 것 같아요.
06:29우리가 Charged Interface 하면서
06:34어떤 산염기가 들어갔을 때 걔네들이 표면이 어떻게 되는가
06:38뭔가가 확 밀려가고 그 다음에 기억하시죠.
06:42이제 프로톤 같은 경우는 상대적으로 잘 움직이기 때문에
06:46키네틱 하고 같이 봐야 된다고 했잖아요.
06:48그런 것들 입장에서 얘네들이 자꾸 뒤로 밀려나 있고
06:50음이온들이 사실 먼저 들어가서 붙는다고 얘기를 했었습니다.
06:54그러고 나면 다시 또 그거에 대한 이중층으로
06:58플러스가 만들어지고 어쩌고저쩌고 이런 얘기들을 했었는데
07:01그런 Charged가 있게 되면 없는 애들에 비해서
07:05서로 리펄전이 잘 일어나겠죠.
07:08이 PLC 컨트롤을 잘 해주면
07:11그런 H 플러스가 있으면 H 플러스는 상대적으로 걸크 남아 있으니까
07:16이렇게 존재할 수 있는 거잖아요.
07:18pH 컨트롤이 사실 그런 면에서도 중요하고
07:23디스펄선트도 어떤 디스펄선트도 인지도 중요하지만
07:26보통은 이제 퐁퐁이나 뭐 이런 얘기들이 많이 있고
07:31반도체에서는 트리톤X100 이라는 거를 많이 쓰게 돼요.
07:37트리톤X100, 트리톤X100, 트리톤X100이 있는지
07:39어딘지 모르겠는데 아무튼 저도 이제 뭐 초창기 처음에 석사하고 이럴 때
07:46반도체 이런 실내폰 웨이퍼 같은 것도 많이 썼는데
07:49그때 클리닝 할 때도 많이 썼던 소재 중에 하나입니다.
07:52그리고 아이온익 스트렝스 컨트롤에 대한 거는
07:55이것도 우리가 잠깐 얘기를 했었어요.
07:57그러니까 이온 분위기를 만든다는 거잖아요.
08:00아이온익 스트렝스 이게 이온 분위기에 대한 얘기거든요.
08:04이온 세기, 이온 분위기의 세기가 어떤가
08:08이온 분위기가 세면 안 녹던 염도 녹아요.
08:13그것도 이제 여러분들 그 처음에 전기화 부분이나 이런 데서 얘기하잖아요.
08:20그래서 아이온익 스트렝스가 얼마나 되는지
08:22이거를 측정하는 방법도 다 나와 있습니다.
08:25그래서 그걸 측정해 가지고 실제로 안 녹던 염들이 녹으면
08:30녹으면 다시 걔네들은 어떤 양이온이나 음이온들을 만들게 되고
08:36그럼 상대적으로 리펄전이 일어날 가능성이
08:39같은 이용끼리는 더 높아지고
08:41그러니까 애그리게이션이 안 일어날 가능성이 높죠.
08:45대체적으로 이 애그리게이션을 방지하는 방법은
08:49제타포텐셜을 관리하면 돼요.
08:51우리가 제타포텐셜에 대한 얘기는
08:53거의 마지막 부분에 했었잖아요.
08:56어디가 제타포텐셜인지 뭐 이런 것들을 보면
08:58결국은 아이오닉 스트렝스 컨트롤도 이런 것들에 다 도움이 되는 것들이고
09:05그 다음에 서피턴트 에디티브 이런 것도 사실 뭐 중요할 수 있겠죠.
09:09이런 내용들이 뒤에 좀 상세하게 좀 적혀 있습니다.
09:14보세요. 제타포텐셜 썼던 말이 쭉 다 나와 있고
09:17근데 이제 조금은 여기 있는 말로만 가지고는
09:22좀 이해하기 힘든 부분들도 있는 것 같아요.
09:24제가 이걸 다 다시 확인해 가지고 일일이 적어줄 만큼의
09:28시간적 여유는 저도 없어서 일부는 좀 빼긴 했지만
09:32여러분들은 제가 얘기하는 정도의 어떤 러프한 개념들을 좀 알았으면 좋겠고요.
09:38그 정도 선에서 그냥 시험 준비도 하고
09:42여러분들이 좀 기본적인 지식을 갖고 있다가
09:44혹시 나중에 이런 일을 직접 해야 되면
09:47그때는 다시 이제 뭐 공부해야죠. 그렇죠?
09:50그렇게 하는 일들을 추천합니다.
09:54이 자료 감사합니다.
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