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  • 2020. 6. 11.
연구팀은 클로버게임 또 300㎜×300㎜ 이상의 대면적을 20℃/sec 이상으로 https://www.hon200.com 몰디브게임 고속 승온 및 냉각할 수 있는 다중 셀 세라믹 히터(온도 균일도 ±2% 이내)도 개발했다. 유연 기판을 클로버게임 셀로 나눠 가열하되 이를 동시에 진행해 균일한 몰디브게임 열전달이 가능하게 한 기술이다. 기존의 방식은 대면적을 한 번에 가열하는 단일 셀 구조로 열충격에 의한 히터 파손 문제로 가열 성능에 한계가 있다. 또 온도 분포가 균일하지 못해 안정적으로 공정을 지속하기 어렵고 생산성을 확보하기도 어렵다. 이 기술을 적용하면 생산 공정 속도는 높이고 불량은 줄일 수 있다.

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