00:00半導体チラー
00:14半導体チラーとは主に半導体製造プロセスにおいて
00:18反応チャンバーの温度を精密に制御するために使用されます
00:22これは主に熱交換器、循環ポンプ、コンプレッサー
00:28および制御システムから構成される自己平行循環装置であり
00:33生産プロセスにおける温度制御設備に属します
00:58半導体プロセスの微細化と発熱密度の上昇
01:04半導体チラーは3Nm、2Nmなどの極微細プロセスにおいて
01:10露光装置、EUVやエッチング装置などが発生する膨大な熱を
01:16高精度で安定除去する必須設備として需要が拡大しています
01:21半導体チラーは、次世代の低GWP、地球温暖化係数、冷媒の採用、熱回収システムの統合
01:32部分負荷時の効率最適化などを通じ
01:35工場全体のカーボンフットプリント削減を実現する新製品の大きな市場
01:42高額な初期投資コスト、半導体チラーは、超高精度な温度制御を実現するための特殊な設計部品が必要であり
01:52特に大容量モデルでは非常に高価であるため、顧客の投資判断を慎重にさせます
02:003.技術者・技能者の不足と継承課題
02:04半導体チラーは、設計・製造・保守には、機械・電気・制御・冷熱の複合的な知識と経験が必要ですが
02:14製造業全体の人材不足と高齢化が、この分野においても深刻な問題です
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