グローバル半導体用RFジェネレータのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2025

半導体用 RF ジェネレータ（RF 電源とも呼ばれる）は、半導体製造における重要な特殊電源である。同機器は通常、整合器と共にシステムを構成し、これをプラズマ RF 電源システムと呼ぶ。半導体用 RF ジェネレータの主流周波数帯域は、一般的に 400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz である。その核心機能は、高周波電界を生成してウェーハ反応チャンバー内の特定のプロセスガスをイオン化し、高活性かつ高エネルギーのプラズマを生成・維持することである。その後、プラズマの独特な特性を活用し、薄膜堆積、エッチング、イオン注入、クリーニング・ストリッピング、ボンディングといった複雑な半導体プロセスを実現する。