シリコン反射防止コーティングの世界市場レポート2025-2031

シリコン反射防止コーティング市場概要

反射防止コーティング（ARC）とは、フォトレジストの上下に適用されるコーティングのことです。ポリマー樹脂、染料、熱酸発生剤、溶媒などで構成されています。ARCには、SiARC、BARC、TARCが含まれます。

シリコン反射防止コーティング（SiARC）は、シリコン材料に基づく光学機能性コーティングです。シリコン基板表面に特定の構造や薄膜を形成することで、光の干渉原理を利用して反射による光損失を低減し、光透過率やフォトン吸収効率を向上させます。その核心的な目的は、シリコン基板表面の反射率を最小限に抑えることであり、メモリやロジック分野で広く使用されています。